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讨论了用于高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理.用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19 软磁薄膜,并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析.
用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究
【摘 要】
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讨论了用于高频磁阻抗效应传感技术的NeFe软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理.用射频磁控溅射法在几十kA/m磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ni81Fe19 软磁
【机 构】
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华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
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华中理工大学学报
【发表日期】
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1999年1期
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