【摘 要】
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为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3 )基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 nm,带宽分别为15 nm和60 nm,透过率均达到了
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,上海200083;中国科学院大学,北京100049;上海科技大学物质学院,上海200031
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为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3 )基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 nm,带宽分别为15 nm和60 nm,透过率均达到了95％.基于法布里-珀罗腔结构设计了带通滤光膜系,并对其进行了优化.与电子束蒸镀薄膜相比,采用双离子束溅射沉积方法制备的Nb2O5/SiO2滤光片薄膜,其表面质量明显改善,缺陷减少,表面粗糙度均方根降低到1 nm以下,显著改善了与光电探测器光耦合时的不均匀性.
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