离子束溅射沉积相关论文
采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜......
近红外波长为1.064 μm的激光是激光测距、自由空间光通信和空间光学遥感等应用中的主要激光光源之一。窄带滤光片是抑制背景光干......
本文应用高斯型离子束流强度分布计算了离子束溅射沉积光学薄膜的沉积速率分布,结果表明,沉积速率空间分布偏离余弦分布,峰值位置......
用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损伤阈值等特性进行了分析.......
膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜......
1987年 11月上旬,由兰州物理研究所研制的 DSJ-4型多功能双离子束加工机和直线型局部真空电子束焊接装置,通过了部级技术鉴定,为......
针对离子束溅射沉积设备薄膜均匀性问题,采用理论分析计算和试验相结合的方法计算了薄膜厚度的分布差异,由此设计出修正板外形。实......
铜锌锡硫基薄膜太阳电池是以铜铟镓硒基薄膜太阳电池为基础而发展起来的新型硫属化合物半导体光伏器件。其吸收层材料由含量丰富且......
为研究探索新材料，采用离子束溅射沉积的方法制备了子层厚度为纳米量级的陶瓷／金属以及陶瓷／高分子多层膜。对这些纳米多层膜的结构和......
设计和制备了一种用于1064nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩......
由离子和离子束技术形成的非晶碳膜具有良好的电绝缘性、对红外及可见光透明、硬度大、耐腐蚀等优良性质,可望在半导体器件、激光......
本文介绍了一台自行研制的离子束表面处理装置。该装置能独立进行离子束溅射沉积金属膜，也能与离子注入机联机进行离子注入和离子束......
金刚石和类金刚石膜是当今材料界的研究热点之一，有着极其诱人的应用前景。本文简要综述了该膜系的发展过程和现在水平。并结合作者......
本文介绍一种新型的光学薄膜制备用多离子束电子束系统。该系统既可采用聚焦离子束溅射沉积，也可采用传统的电子束蒸发沉积薄膜，并辅......
使用多靶离子束溅射沉积方法制备出Ag/Si多层膜 .利用原位低角X射线衍射技术和截面高分辨透射电子显微镜观察 5 0～ 30 0℃退火过程......
简要介绍了９６ 年欧洲真空镀膜会议概况，结合９４ 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容，对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介......
用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法，在３０４不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜．经ＸＰＳ和ＩＲＳ分析，确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构分......
如何提高Pt在薄膜电极上的利用率是相关研究的热点。本研究采用离子束溅射沉积技术(IBS),在石墨纤维布基底表面制备了PtCuLaOx复合......
通过离子束溅射沉积法制备了受不同张应力作用的TbDy-Fe稀土超磁致伸缩薄膜样品。借助LK-G150激光微位移传感器和交变梯度磁强计分......
本文介绍一台自行研制的离子束动态混合装置。该装置与K—200注入机相联,同时用离子束溅射沉积与高能离子轰击相结合的动态混合技......
为了观测大气层中的水汽含量以及CH4和CO2的浓度,在蓝宝石(Al2O3 )基片上制备了两种窄带通滤光片,其中心波长分别为1375 nm和1610 ......
本文阐述了几种不同的激光高反膜的制备工艺，如电子束蒸发沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射沉积和溶胶一凝胶沉积法等，分析了各种制......
本文介绍了溅射薄膜压力传感器的主要制造工艺,以及溅射薄膜压力传感器及其扩展产品的型号应用.溅射薄膜压力传感器采用了现代薄膜......
在温度为400℃下,采用离子束溅射技术在Si(100)衬底上沉积Si薄膜.利用Raman光谱对不同束流下生长的Si薄膜进行分析.结果表明:随着......
采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜......
六方氮化硼(Hexagonal boron nitride，h-BN)二维原子晶体具有原子级平滑的表面、极少的表面悬挂键、极低的表面陷阱电荷密度，有利于......
镍-金属氢化物电池已成为电池领域的研究热点，作为电池负极的贮氢材料的研究与发展将极大影响着电池的性能，其中贮氢薄膜的研究将是......
在由激光驱动的惯性约束核聚变的光学系统中，控制光束的光学元件要达到一定的功能，就需要在光学元件基底上镀制不同材料、不同膜层的......
离子束溅射因为其优异的工艺稳定性，能够制备高质量性能优越的薄膜而越来越受到人们的关注，现已经成为制备高性能薄膜的重要手段。 ......
利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2／SiO2+Al2O3／SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400℃......
用Ａｒ＋束溅射沉积技术在ＨｇＣｄＴｅ表面实现了ＺｎＳ的低温沉积．用Ｘ射线光电子能借（ＸＰＳ）对上述ＺｎＳ薄膜以及热蒸发ＺｎＳ薄膜中的Ｚｎ、Ｓ元素的化学环境进行了对比实验研究．实验......
氧化硅（SiOx）原位钝化层对氧化钒（VOx）薄膜电学特性的影响分析旨在改善像元微桥结构的光学吸收特性，提高热敏VOx薄膜层的方阻和电阻温度......
为了提高TbDy-Fe膜的低场磁敏性，采用离子柬溅射沉积（IBSD）法制备TbDy-Fe超磁致伸缩薄膜，分别研究了纯Fe膜与TbDy-Fe单层膜、TbDy-Fe／Fe......
用辅以动态氮离子轰击的氩离子束溅射沉积方法，在３０４不锈钢基材上沉积聚四氟乙烯薄膜。经ＸＰＳ和ＩＲＳ分析，确定了聚四氟乙烯膜的存在并进行了结构......
薄膜材料是现代材料领域发展迅速的一种材料,其制备方法现在已有很多种。本论文介绍了几种制备薄膜的方法,重点介绍了磁控溅射和离......
空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500～720nm)和近红外(波长(1 064......
采用离子束溅射技术在Si基底上自组织生长了一系列Ge量子点样品,研究了束流密度对Ge/Si量子点的尺寸分布和形貌演变的影响。原子力......
北京埃德万斯离子束技术研究所是国内离子束刻蚀系统、离子束溅射沉积薄膜系统、微米及纳米器件微结构研究和薄膜材料研究的创新者......
钒二氧化物薄电影通过退火被制作薄电影由双离子横梁劈啪作响扔了的钒氧化物。X 光检查衍射(XRD ) ，原子力量显微镜学(AFM ) ，和 Fou......
客观: 微笑用离子学习 intraocular 透镜的特征劈啪作响扔钛氮化物 intraocular 透镜(IOL ) 上的薄电影 .Methods : 到 deposite ......
本文首先利用离子束溅射聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜，进而研究了其结构。由ＸＰＳ的结果可知，所得薄膜主要由ＣＦ２结构组成；由ＦＴ－ＩＲ的结果可知，在１１６９ｃｍ＾－１和......
离子束溅射沉积薄膜技术广泛用于高质量半导体薄膜和光学薄膜的制备工艺,在制备过程中生长条件的选取决定了薄膜的质量和性能。本......
用Ar+束溅射沉积技术实现了CdTe薄膜的低温沉积生长。用X射线光电子能谱(XPS)分析技术对溅射沉积CdTe薄膜以及CdTe体晶中的Cd元素......
为了消除单点金刚石车削（SPDT）后KDP晶体表面留下的周期性小尺度波纹,文章探索采用离子束溅射沉积-刻蚀的方法对车削后KDP晶体进行抛......
