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描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜（ＳＮＡＭ）。以谐振频率为１ＭＨＺ的未封装伸管型晶振作为微力传感器逼近样品表面，在此过程中晶振受到流体阻尼，其振动特性发生变化，通过检测振幅值的变化即可获得样品表面形貌信息。在分析ＳＮＡＭ检测机理的基础上设计了ＳＮＡＭ系统，测量时的垂直分辨率可达到纳米级。