【摘 要】
：
为深入理解化学机械抛光过程中的摩擦磨损机理,仿真研究了不同工况对抛光作用的影响规律.建立考虑多相流和离散相的三维CFD模型,研究不同工况下晶片和抛光垫间抛光液的速度和
论文部分内容阅读
为深入理解化学机械抛光过程中的摩擦磨损机理,仿真研究了不同工况对抛光作用的影响规律.建立考虑多相流和离散相的三维CFD模型,研究不同工况下晶片和抛光垫间抛光液的速度和压力分布以及抛光磨粒的分布规律.结果表明:膜厚越小,抛光垫和晶片的转速越大,磨粒的分布密度越小.对流体速度和压力分布规律以及磨粒分布特性进行仿真分析,研究抛光过程中磨粒对晶片表面的动压作用过程.用疲劳断裂能量守恒理论,建立可定量分析各种工况下材料去除率的预测模型,采用Matlab软件对去除率模型进行仿真计算,得到不同工况下碳化硅晶片的去除率曲线.结果表明,抛光垫转速越大,膜厚越小,材料去除率越大,但去除率随着抛光的进行呈现减小的趋势.相比抛光垫转速对去除率的影响,膜厚对去除率的影响较小.
其他文献
在直觉主义逻辑和兰贝克演算之间,各演算的区别由结构规则的去留决定,于是形成了“结构层级”和“子结构逻辑”.在这些层级系统和类型化的兰姆达演算之间建立对应关系,便可实
我国已经进入了全面建设小康社会的历史阶段,我们又正在实施西部大开发战略.本文从三个方面论述了全面建设小康社会和西部大开发的关系问题:一、全面建设小康社会的基本内容;
在教学中实施以转变学生的传统思维模式,培养实事求是、独立思考、勇于创新的科学精神为目标的创新教育,是素质教育的核心,而创新教育的关键又在于学生创造个性的培养.
'国家观'是一个意识形态层面的概念,亦可以理解为民众、统治阶级对于国家的认识与归属感。鸦片战争之前,对于国人来说,并没有一个完整成型的'国家观'概念,有
为在紧凑的结构尺寸下利用现有的摩擦材料大幅度提高摩擦加载式电液负载模拟器的加载幅值,提出利用大幅值力矩加载机构进行加载的方法.给出加载机构的工作原理,设计并研制一
歌唱艺术是歌唱者把声乐作品发挥的淋漓尽致,它是一种美的展示.在声乐教学中学生内心画面的建立与培养是非常重要的,歌唱者必须把科学的发声与作品完整的美的画面有机结合起