切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响
在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Stephanie1121
【摘 要】
:
传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序.这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得颗粒
【机 构】
:
CT Associates, Inc.
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
体系
研磨液
颗粒
尺寸分布
过滤器
使用寿命
半导体芯片
传输系统
使用设备
状态
循环
悬浮
生产
晶圆
加压
工序
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
传输系统一般用于供应研磨液,这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序.这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去,并使研磨液不断循环以使得颗粒保持悬浮状态.
其他文献
工伤保险预防功能急需立法保障--关于落实“五要素”的系列评说之八
《工伤保险条例》只确认了工伤保险具有工伤预防功能,但如何实施工伤预防,条例上没有具体和明确的表达,尤其是对工伤保险的预防费用没有明确规定,实质上难以促进工伤预防和安
期刊
工伤保险
预防功能
立法保障
五要素
搞好安全生产
五个要素
法制建设
构建和谐社会
重大举措
执政理念
预防为主
议事日程
生产关系
积极影响
功能发挥
工伤
45nm节点清洗/光刻胶去除的挑战
在今年四月份于德州奥斯汀举行的表面预处理与清洗会议(Surface Preparalion and Cleaning Conference,SPCC)上.来自IMEC超级清洗工艺项目的项目经理Paul Mertens列举了45和3
期刊
节点
清洗
光刻胶去除
表面预处理
项目经理
工艺项目
奥斯汀
会议
德州
湖南农机标准化工作成效显著
湖南省农业机械标准化技术委员会紧紧盯住水稻生产机械化、油菜生产机械化和林果业生产机械三大重点,积极参与农机国家标准、行业标准和地方标准的制修订,共制定标准12项,修
期刊
湖南省
农机
标准化工作
水稻生产机械化
农业机械
地方标准
技术委员会
制定标准
修订标准
行业标准
企业标准
国家标准
制修订
企业制
林果业
油菜
高k介质击穿的背后
在工程师们试图使高k介质和金属栅迅速地进入生产的同时,科学家们正在忙于对这些新型叠层结构的电学性质进行快速的表征.
期刊
叠层结构
电学性质
科学家
金属栅
工程师
生产
介质
表征
新材料表征所面临的挑战
半导体产业的发展意味着会出现功能更多、速度更快的器件,为了实现这一目的需要选择合适的材料来最终满足更小的线宽与更苛刻的限制.每一个新的技术节点都需要更新奇复杂的材
期刊
材料表征
技术
半导体
选择
线宽
器件
节点
功能
产业
面向交通安全的道路车辆虚拟监控系统
将虚拟制造技术应用于交通安全监控,三维呈现出交通元素并提供丰富的交互操作,引入Google Earth三维地图。提出了以文件结构为基础构建三维模型库方法,使用布尔莎模型及高斯投影实现了WGS84和BJ-54坐标系的转换。使用插值法进行曲线拟合实现了车辆的轨迹跟踪、比较,采用部分参考的方式实现轨迹预测。提出了使用因素加权法进行紧急状况危险度判别的方法,并建立危险因素影响表作为紧急预案的依据,进行多级
期刊
virtual monitoring
intelligent traffic system
traffic safety
3DMap
大数据安全与隐私保护
期刊
光刻胶使用量预测与库存
在用于半导体制造的化学品中,最贵的是光刻胶、抗反射涂层(ARC)和聚酰亚胺(polyimide)等.精确地预测这些特殊的光化学物质的使用量,对于半导体fab的平稳运行非常重要.库存过
期刊
光刻胶
使用量
预测
化学品
半导体
抗反射涂层
光化学物质
生产状况
平稳运行
库存
聚酰亚胺
供应商
制造
供货
拨开云雾看真面
镜头回放rn2005年6月13日下午,在美国佛罗里达州华特迪斯尼乐园,一名来自宾夕法尼亚州4岁男孩在玩“太空飞行”的游戏时昏倒,后抢救无效死亡.
期刊
佛罗里达州
迪斯尼乐园
太空飞行
游戏
死亡
抢救
男孩
美国
镜头
回放
外包CMP工艺开发和材料评估
半导体产业景气的上升将推动着fab(晶圆厂)利用率的提高,并要求fab最大限度地有效利用资源.这反过来推动了对额外的工程项目的需求,以解决生产力和成本问题.这类项目通常专注
期刊
外包
工艺开发
重大工程项目
工艺成品率
利用资源
周期时间
运转时间
降低成本
成本问题
产业景气
新材料
消耗品
消耗量
生产力
利用率
高性能
半导体
制
与本文相关的学术论文