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开发了一种小量程的气体流量传感器。介绍了传感器系统的结构与工作原理，并对传感器系统进行了实验验证。实验结果表明：在常温与常压条件下，传感器工作正常，且气体流量的绝对误差不超过0．30mL，相对误差不超过7．4％。它不仅是一种气体传感器，还是一种气体流量或流速传感器。该传感器具有快速响应、高灵敏度、便于安装、稳固、耐用和高性价比等特点，适合于任何气体。