论文部分内容阅读
提出一种基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法，能够有效地降低非球面测量时的光线斜率，同时提高哈特曼法测量的动态范围和空间分辨率。利用该方法对口径340mm非球面度较大的表面进行仿真测量，结果显示面形测量误差可保证在A／10以内，高于直角坐标下的测量精度。该方法可用于光学生产现场对产品进行快速高精度测量，测量成本低。