【摘 要】
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分析了计算全息（ＣＧＨ）位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的．该法使ＣＧＨ位相探测干涉仪测量精度提高到λ／５０
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分析了计算全息（ＣＧＨ）位相探测干涉仪系统的原理特点，提出三波面类剪切干涉法，以消除系统误差，提高非球面检测精度，达到绝对测量的目的．该法使ＣＧＨ位相探测干涉仪测量精度提高到λ／５０
The principles and characteristics of CGH phase interferometry system are analyzed. A three-wave surface shear interferometry method is proposed to eliminate systematic errors, improve the accuracy of aspheric surface detection and achieve the purpose of absolute measurement. The method of CGH phase detection interferometer measurement accuracy increased to λ / 50
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