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针对三维金属微细结构的微细电火花加工，应用等损耗理论，采用分层加工的方法，建立了单道加工时底面形状随电极损耗而变化的轮廓模型。在此基础上，提出定长补偿的方法，给出了补偿长度的计算公式。对底面轮廓模型及定长补偿方法进行了仿真分析。实验测定了微细条件下钨打钢的相对体积损耗比，进行了无补偿和定长补偿的实验加工。仿真及实验结果表明无补偿时底面轮廓为一指数曲线，与实验结果相符；定长补偿方法加工出的底面轮廓为一幅值恒定的波动曲线；随着补偿精度如的增大，底面轮廓的波动范围也越大；在符合端面损耗理论的范围内，分层厚度越大