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提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制.该设计已在电工所的科研项目'纳米级电子束曝光系统'中得到应用,被称之为EDF数据格式.
一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用
【摘 要】
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提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝
【机 构】
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中国科学院电工研究所,清华大学
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2005年2期
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