氦注入铝的热解吸谱

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juanzi0666
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用氦热解吸谱(THt)S)研究了10keV,4.0× 10^17cm^-2剂量He+辐照(200)择优取向AJ的氦热解吸行为及其与升温速率的关系。结果显示,He解吸开始于270℃附近,THDS中无干扰峰存在。He解吸行为与升温速率密切相关,其解吸峰个数及峰位随升温速率的变化而改变,且不遵循通常的一级化学反应模型,而可能是多级或一级与多级化学反应的混合模型。
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