论文部分内容阅读
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题，采用仿真软件对灯丝、阴极帽和AlX罩的热场、热变形进行了研究，提出了离子源运用过程中的注意事项及改进设计。
SiC高温高能离子注入机的离子源热场研究
【摘 要】
：
高温高能离子注入机是宽禁带半导体SiC产业的关键设备，离子源直接影响整机的性能指标。为保证离子源的长寿命和大束流，针对SiC高温高能离子注入机中的离子源热场问题，采用仿真软
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2017年3期
其他文献
根据水布垭面板堆石坝坝体几何参数和周围山体地形地质资料,建立面板堆石坝三维数值计算模型。以坝体在竣工时的变形实测资料为依据,采用智能位移反演方法反演获得堆石体流变
米非司酮配伍米索前列醇抗带节育器早孕４８例周相凤，魏希平我站自１９９３年１２月～１９９５年３月应用米非酮配伍米索前列醇（以下简称“米索”）抗带节育器早孕４８例，现将结果报道如下：１．用药后反应：口服米非司酮后
滥用水银为主擦剂致急性汞中毒与汞毒性皮炎一例夏耘病历摘要：患者，女，１２岁。因发热、头痛、全身出疹伴腹痛４天于１９９５年３月５日入院。患者于半年前患“银屑病”，入院前８天由当地医生以水银、
介绍和讨论了FC测试编带产品在功能测试过程中引起芯片隐性裂纹的主要原因及预防措施。从转盘设备结构来分析（Feeding进料方式、测试结构、Z轴电动机下压和吸嘴压力等）都会引起
阐述了应用激光修补技术在玻璃基板上去除金属及其化合物薄膜和在玻璃基板上沉积金属薄膜的图形缺陷修补原理与方法;简述了影响薄膜图形缺陷修补质量与效率的关键技术;简单介
通过有限元模拟的方法对线轮轴进行静力分析和模态分析,求出线轮轴在工作状态下的挠度以及其振动模态。通过静力学分析表明,线轮轴在工作状态下的挠度很小,几乎可以忽略不计
研制单位：浙江晶盛机电股份有限公司产品介绍：WCG700-ZJS金刚线单晶硅棒切磨一体机是国内首创的替代传统单晶硅棒单体加工的集成化全自动加工设备。该设备集成了原来需要三台不
介绍了设备软件测试目的和意义,以及传统设备软件测试存在的误区,分析了设备软件测试各阶段应遵循的原则和保证设备软件质量应在软件开发各阶段遵循的管理过程。
采用稀释HF溶液对亲水性的硅抛光片表面进行了疏水改性,并对HF腐蚀硅片表面氧化层、钝化表面的机理进行了分析.研究了HF溶液浓度和反应时间对硅抛光片表面颗粒度和接触角的影
纯锡电镀工艺主要有锡晶须、镀层变色等问题,其中镀层变色严重影响器件的可焊性。通过分析纯锡电镀各参数对镀层变色的影响,设计了工艺参数的优化实验方案,然后按照方案进行