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由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器，使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷，可望比紫外弧光灯速度快得多，而比电子束系统便宜得多。
图形发生器使用准分子激光器
【摘 要】
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由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器，使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷，可望比紫外弧光灯速度快得多，而比电子束系统便宜得多。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1986年23期
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期刊
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期刊
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