【摘 要】
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本文介绍了用ｓｏｌ－ｇｅｌ方法制备ＰＺＴ铁电薄膜的工艺，并指出采用快速热处理工艺能有效地防止薄膜开裂。比较了用３种不同锆盐原料制备的ＰＺＴ薄膜的性能。实验结果表明，用无机盐硝酸锆制备的ＰＺＴ铁电薄膜
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本文介绍了用ｓｏｌ－ｇｅｌ方法制备ＰＺＴ铁电薄膜的工艺，并指出采用快速热处理工艺能有效地防止薄膜开裂。比较了用３种不同锆盐原料制备的ＰＺＴ薄膜的性能。实验结果表明，用无机盐硝酸锆制备的ＰＺＴ铁电薄膜的性能最好。
This paper introduces the process of preparing PZT ferroelectric thin films by sol-gel method and points out that the rapid heat treatment process can effectively prevent the film cracking. The properties of PZT films prepared from three different zirconium salts were compared. The experimental results show that PZT ferroelectric thin films prepared with inorganic zirconium nitrate have the best performance.
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