【摘 要】
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多晶硅残液中的六氯二硅烷具有高附加值,国外已开展相关研究,而国内这方面研究仍处于空白阶段。对此,本文提出了一种从多晶硅氯硅烷残液回收六氯二硅烷的新工艺。工艺通过采
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多晶硅残液中的六氯二硅烷具有高附加值,国外已开展相关研究,而国内这方面研究仍处于空白阶段。对此,本文提出了一种从多晶硅氯硅烷残液回收六氯二硅烷的新工艺。工艺通过采用过滤器与五精馏塔耦合完成残液回收,利用Aspen Plus软件对工艺进行了模拟计算,结果表明,本工艺能够有效回收六氯二硅烷,纯度（质量分数）可达99.8%。使用灵敏度分析考察了回流比、进料位置、采出量等对分离效果的影响,确定了最优工艺操作参数。最后评价了工艺的整体经济效应,结果表明本工艺存在很大的潜在效益。
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