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1引言在进行微米级微距测量时,普通位移测量工具很难找到测量参考点,致使测量的准度和精度存在较大的偏差,而使用普通显微镜观察,则又不能进行位移测量。如果采用市场上基于成像技术的装置来进行测量,成本太高。基于这种情况,如果在显微镜
一种显微状态下的数显位移测量装置
【摘 要】
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1引言在进行微米级微距测量时,普通位移测量工具很难找到测量参考点,致使测量的准度和精度存在较大的偏差,而使用普通显微镜观察,则又不能进行位移测量。如果采用市场上基于
【机 构】
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北京航天试验技术研究所
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2012年1期
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