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金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一.在本文中,简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长,并对存在的一些问题进行了分析和讨论.
金刚石膜的制备和高取向生长
【摘 要】
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金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一.在本文中,简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长,并对存在的一些问题进行了分析和讨论.
【机 构】
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中国科学院
【出 处】
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炭素技术
【发表日期】
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2002年1期
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