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MEMS(微机电系统)传感器深受运动、加速度、倾斜度和振动测量市场的欢迎.MEMS传感器是系统级封装解决方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸紧凑等诸多优点.rnMEMS完全不同于主要利用硅的电性质的半导体芯片.MEMS的核心部件没有栅-漏-源三极,而是一个完全由硅制成的微型机械结构.一个典型的MEMS结构包括质量矩滑块、弹簧和阻尼器,工作原理与质量弹簧模型基本相同.