【摘 要】
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现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的
【机 构】
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电子科技大学自动化学院,四川大学激光应用技术研究所
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现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源，外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路，构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证，其精度达到0．1μm／800mm。实验证明，该干涉仪可以对速度为1000mm／s的动物体进行位移和速度测量。
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