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双频激光干涉仪:频差:高精度高测速相关论文

高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s，而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。......

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双频激光干涉仪:频差:高精度高测速热稳频激光器 dual-frequency laser interferometer frequency differen

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