140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qq380612428

【摘要】

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对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦。波

【作者】

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谢辅强丁桂甫赵小林程萍

【机构】

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上海交通大学电子信息与电气工程学院

【出处】

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强激光与粒子束

【发表日期】

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2015年8期

【关键词】

：

弯折波导仿真微加工测试 folded waveguide simulation micromachining test

【基金项目】

：

supported by the Hi-Tech Research and Development Program of China（2015AA041901）

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对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦。波导的耦合阻抗在140GHz时为5Ω左右。CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140GHz处的功率增益为24.6dB。该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容。通过SU-8UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工。测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21分别为-2

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