双频激光干涉仪

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前言自1960年气体激光的出现和随后激光器件研制的进展有可能直接采用光波波长作为长度测量的标尺,满足生产和科学研究对长度测量提出愈来愈高的精度要求。激光干涉测长已从实验室应用的技术发展成为工程现场普遍应用的技术。[1][2]我国也先后研制成功利用激光干涉原理的线纹米尺比长仪和动态丝杠检查仪等实验室内专用量仪,达到世界先进水 Preface Since the emergence of gas lasers in 1960 and the development of subsequent laser devices, it is possible to directly use the wavelength of light waves as a gauge for length measurement to meet the ever-increasing precision requirements for length measurement in production and scientific research. Laser interferometry length has been developed from the laboratory application of the technology has become a common site engineering technology. [1] [2] China has also successfully developed the principle of laser interference using linear meter ruler and dynamic lead screw tester and other laboratory-specific instrument to achieve the world’s advanced water
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