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综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu电极ScAlN薄膜基片谐振器机电耦合系数与薄膜厚度的关系。
声表面波谐振器设计与仿真
【摘 要】
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综合声表面波谐振器设计的研究方法与思路,给出体声波和声表面波的划分方法,介绍了声表面波的机电耦合系数、压电薄膜基片的厚度与波长对声表面波性能的影响关系式,仿真了Cu
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,辽宁科技学院创新创业学院
【出 处】
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信息记录材料
【发表日期】
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2020年3期
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