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毛细管放电Z箍缩等离子体软X射线激光器近几年发展非常迅速,已经获得了在46.9nm的波长上近毫焦量级的激光输出,重复频率达到了4Hz.利用这种软X射线激光在等离子诊断、物质烧熔等方面已开展了初步的应用实验研究.文章介绍了毛细管放电泵浦的两种物理机制,阐述了类氖氩离子2p53p 1S0-2p53s 1P1能级间粒子数反转的形成及毛细管放电等离子体柱的演变过程.深入理解这些物理过程,对发展毛细管放电软X射线激光将起到积极作用.