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期刊论文
SiC 半导体材料与器件(1)
SiC 半导体材料与器件(1)
来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zuochangfeng
【摘 要】
:
本文介绍了半导体SiC材料的结构和特性、材料制备及器件研制的进展,并与Si、GaAs、金刚石等材料作了比较,强调指出SiC做为一种接近实用的高温、高频、高功率和抗辐射器件材料的优越性,同时亦
【作 者】
:
田敬民
【机 构】
:
西安理工大学微电子技术教研室710048
【出 处】
:
半导体杂志
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
高温半导体
碳化硅
半导体材料
Silicon Carbide
High temperature semiconductor
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本文介绍了半导体SiC材料的结构和特性、材料制备及器件研制的进展,并与Si、GaAs、金刚石等材料作了比较,强调指出SiC做为一种接近实用的高温、高频、高功率和抗辐射器件材料的优越性,同时亦指出SiC器件进一步实用化所需解决的问题及应用前景。
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