化学气相沉积金刚石膜的硬度

来源 :河北省科学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jonquil1981

【摘要】

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使用力驱动静态超微压痕测量仪器(Force Driven Static Measuring Ultra Micro-Indentation System)-UMIS-2000对由直流等离子体喷射法沉积的金刚石膜进行测量.结果显示金刚

【作者】

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唐才先罗廷礼张永贵臧建民潘存海石尔平吕反修唐伟中钟国仿 M.Samandi

【机构】

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河北省机电一体化中试基地,石家庄,050081;北京科技大学,北京,100083;Materials Engineering Department,University of Wollongong,N

【出处】

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河北省科学院学报

【发表日期】

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1999年4期

【关键词】

：

CVD金刚石膜硬度超微压痕测量法

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使用力驱动静态超微压痕测量仪器(Force Driven Static Measuring Ultra Micro-Indentation System)-UMIS-2000对由直流等离子体喷射法沉积的金刚石膜进行测量.结果显示金刚石膜的硬度不仅与晶体生长方向和晶粒大小有关,还与厚度有关.生长面和与基底接触面的金刚石膜硬度也有区别.后者被认为由于随机取向的微小晶粒占优势,其硬度比生长面略高.在所进行的测量中,硬度值在90GPa左右.

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