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针对纳米级中高频微弱振动检测提出了一种基于参考臂低频相位调制的光学相干检测方法。分析了参考臂低频相位调制情况下,微弱振动相干检测信号的模型及其频谱分布特点,在此基础上提出了振动频率及振幅的解算方法。仿真研究表明所述能够准确解调出纳米级微弱振动的频率及振幅参数,并且表现出较强的抗噪和抗环境扰动的能力。搭建了一套光学外差相干系统对由水下声源激发的纳米级水表面波进行了探测实验,实验结果表明利用所述的方法能够精确测定微弱振动的频率,对其振幅的检测也表现出很高的测量重复性。参考臂低频相位调制相干方法为中高频微弱振动