【摘 要】
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扫描电子显微镜在材料形貌、结构及成分的观察和分析研究中起到非常重要地作用,具有成像景深大、分辨率高、立体感强等特点。以日立SU3500扫描电子显微镜为例,结合多年测试维护保养经验,阐述其最佳工作状态的维护需要处理好硬件设备维护、测试样品制备及电镜工作参数调节等工作。通过详细分析这三大影响因素,提出实践中的一些相应维护方法和改进措施（如灯丝型号选择及安装、工作参数具体设定等）,最终达到延长电镜工作寿
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扫描电子显微镜在材料形貌、结构及成分的观察和分析研究中起到非常重要地作用,具有成像景深大、分辨率高、立体感强等特点。以日立SU3500扫描电子显微镜为例,结合多年测试维护保养经验,阐述其最佳工作状态的维护需要处理好硬件设备维护、测试样品制备及电镜工作参数调节等工作。通过详细分析这三大影响因素,提出实践中的一些相应维护方法和改进措施（如灯丝型号选择及安装、工作参数具体设定等）,最终达到延长电镜工作寿命,提升使用性能的目的,为其他使用者提供一个参考。
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