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研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,设计了应用于射频通讯领域的高Q值3-D MEMS电感,并研究了电感制造的工艺流程.
用于射频通信领域的3-D MEMS电感设计
【摘 要】
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研究了影响3-D MEMS电感的电感值和Q值的主要因素,提出了电感值和Q值的理论计算模型.并利用该理论模型,对不同尺寸结构的三维微机械电感进行了数值模拟.根据理论计算的结果,
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2003年z2期
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