【摘 要】
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本文较详细地分析了Si/α-Si异质结晶体管(HBT)的微波性能和工艺优点,简述了工艺过程,初步实验结果证实:Si/α-Si HBT具有较好的小电流特性,晶体管的h_(fe)=12(V_(CE=10V,I_C
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本文较详细地分析了Si/α-Si异质结晶体管(HBT)的微波性能和工艺优点,简述了工艺过程,初步实验结果证实:Si/α-Si HBT具有较好的小电流特性,晶体管的h_(fe)=12(V_(CE=10V,I_C=1mA),BV_(CEO)=20V。
In this paper, the microwave performance and process advantages of Si / α-Si HBT are analyzed in detail, and the process is briefly described. The preliminary experimental results show that the Si / α-Si HBT has good low current characteristics, Transistor h_ (fe) = 12 (V_ (CE = 10V, I_C = 1mA), BV_ (CEO) = 20V.
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