复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究

来源 :2007年度陶瓷-金属封接与真空开关管用管壳技术进步研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yuanjin123456

【摘要】

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用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了复合CrCO-Ti和CrCO保护薄膜,在氮气气氛条件下,研究了这些薄膜的结构、粘合力、耐磨性等随退火温度的变化规律和掺Ti对其性能的影响.得

【作者】

：

胡作启

【机构】

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华中科技大学电子科学与技术系,湖北,武汉,430074

【出处】

：

2007年度陶瓷-金属封接与真空开关管用管壳技术进步研讨会

【发表日期】

：

2007年8期

【关键词】

：

硬薄膜复合CrCO-Ti薄膜氧化物热稳定性

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用非平衡脉冲直流磁控溅射技术制备出了复合CrCO-Ti和CrCO保护薄膜,在氮气气氛条件下,研究了这些薄膜的结构、粘合力、耐磨性等随退火温度的变化规律和掺Ti对其性能的影响.得出结论:沉积的薄膜是非晶态薄膜,这些薄膜的耐磨能力达到10-8mm3/Nm;掺Ti能增强薄膜的柔韧性和负载能力,但在400℃及以上退火条件下,薄膜的结构、粘合力、耐磨能力等开始变化,而OEM为40％的复合CrCO-Ti薄膜具有较好的热稳定性.

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