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基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制
基于LabVIEW的宽光谱膜厚监控系统的研制
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ggg321
【摘 要】
:
介绍了一种基于LabVIEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabVIEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和
【作 者】
:
王巧彬
任豪
罗宇强
【机 构】
:
广州市光机电工程研究开发中心广东省现代控制与光机电技术公共实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
光学薄膜
宽光谱
膜厚监控
光谱特性
LABVIEW
optical film
wideband spectrum
film thickness monit
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介绍了一种基于LabVIEW的光学镀膜宽光谱综合监控系统。阐述了光学镀膜宽光谱监控的原理和高级图像编程语言(LabVIEW)在此系统中的应用;监控系统可以用于光学薄膜在线实时监控和光学薄膜的光谱特性检测。
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