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基于多弧离子镀技术,结合特殊的封接结构和工艺技术,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接.通过试验,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、较好的抗拉强度.这一成功为我国发展高功率和高频率真空微波、毫米波器件奠定了基础.
蓝宝石输出窗的成功封接
【摘 要】
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基于多弧离子镀技术,结合特殊的封接结构和工艺技术,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接.通过试验,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、
【机 构】
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中国科学院电子学研究所
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2004年4期
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