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1 引言rn钯(Pd)是一种稀有的带光泽的银白金属,是铂族金属(PGM)中的一种元素,同时也是一种贵重金属,作为有害气体的催化转化器已得到广泛运用,例如将废气系统[1]中的碳氢化合物快速转化成水和二氧化碳.钯还具有十分明显的催化特性,被运用于化学湿式转化中的各种应用中.
有关半导体制遣中钯的运用:用于铜上的无电镀镍沉积物的钯催化剂
【摘 要】
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1 引言rn钯(Pd)是一种稀有的带光泽的银白金属,是铂族金属(PGM)中的一种元素,同时也是一种贵重金属,作为有害气体的催化转化器已得到广泛运用,例如将废气系统[1]中的碳氢化合
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2013年8期
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