【摘 要】
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研究了一种制作光电集成电路(OEIC)用的新型的平面化技术。详细分析了为获得完全平整的隐埋结构所需的衬底制备和离子束腐蚀的条件。这种工艺已成功地用于AlGaAs/GaAs p-i-n
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研究了一种制作光电集成电路(OEIC)用的新型的平面化技术。详细分析了为获得完全平整的隐埋结构所需的衬底制备和离子束腐蚀的条件。这种工艺已成功地用于AlGaAs/GaAs p-i-n FET光电接收机的单片集成上。结果表明,这种平面化技术可以用来制作包括大规模集成接收机和发射机在内的OEIC。
A novel planarization technique for making optoelectronic integrated circuits (OEICs) was investigated. The conditions of substrate preparation and ion beam etching required to obtain a completely flat buried structure are analyzed in detail. This process has been successfully used for monolithic integration of AlGaAs / GaAs p-i-n FET optoelectronic receivers. The results show that this planarization technique can be used to make OEICs, including massively integrated receivers and transmitters.
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