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系统论述了近年来TiNi形状记忆合金(SMA)薄膜在MEMS技术中的应用研究。主要从该材料的特点在MEMS中的应用原理、制备技术方面进行了论述;探讨了MEMS技术中TiNi合金应用的关键技术、存在问题及发展前景。
基于MEMS的TiNi形状记忆合金薄膜研究进展
【摘 要】
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系统论述了近年来TiNi形状记忆合金(SMA)薄膜在MEMS技术中的应用研究。主要从该材料的特点在MEMS中的应用原理、制备技术方面进行了论述;探讨了MEMS技术中TiNi合金应用的关键
【机 构】
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西北有色金属研究院,中国科学院化学研究所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年05期
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