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采用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了不同掺杂量的Fe—ZnO薄膜，分析不同掺杂量对薄膜光学性能的影响。利用X射线衍射仪（XRD）和原子力显微镜（AFM）研究Fe—ZnO薄膜的微观结构和形貌
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技