【摘 要】
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为更好地研究脉冲激光清洗技术在还原炉专用钢316L金属表面中的应用,提升金属表面去污效果及耐腐蚀性能,基于多晶硅还原炉的主要工作环境影响因素,对其母材316L不锈钢进行工艺试验研究,并利用SEM、XRD、EDS等检测技术对试验清洗结果进行了检测。通过两级(微观和宏观)联合评估选出最优参数及表面,并对其进行电化学强酸介质腐蚀试验检测。结果发现通过激光清洗后的316L不锈钢表面洁净度高且耐腐蚀性能得到提升,为还原炉内壁表面的清洗及应用提供一定的参考意义。
【基金项目】
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克拉玛依科技重大专项(2018ZD002B)。
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为更好地研究脉冲激光清洗技术在还原炉专用钢316L金属表面中的应用,提升金属表面去污效果及耐腐蚀性能,基于多晶硅还原炉的主要工作环境影响因素,对其母材316L不锈钢进行工艺试验研究,并利用SEM、XRD、EDS等检测技术对试验清洗结果进行了检测。通过两级(微观和宏观)联合评估选出最优参数及表面,并对其进行电化学强酸介质腐蚀试验检测。结果发现通过激光清洗后的316L不锈钢表面洁净度高且耐腐蚀性能得到提升,为还原炉内壁表面的清洗及应用提供一定的参考意义。
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