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VG202MKII全自动精密硅片减薄机是SOI工艺的主要设备之一。由于其具有高精度、全程控等特点,设备构造较复杂,调试难度较大。文章由原理到实际、由流程到技巧,比较系统地阐述了该设备的关键调试技术。
VG202MKII精密硅片减薄机调试技术
【摘 要】
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VG202MKII全自动精密硅片减薄机是SOI工艺的主要设备之一。由于其具有高精度、全程控等特点,设备构造较复杂,调试难度较大。文章由原理到实际、由流程到技巧,比较系统地阐述
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室；中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2004年05期
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