微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究

来源 :机械强度 | 被引量 : 0次 | 上传用户：star2006111

【摘要】

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力电耦合是大多数微电子机械系统(尤其是以静电驱动的微机械)的重要特征.文中采用有限元(FEM)结合边界元(BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题,利用自行研制的程序给出

【作者】

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王丛舜张为斌方竞崔云俊沈健昌盛

【机构】

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北京大学力学与工程科学系,北京大学微电子学研究所

【出处】

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机械强度

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

微电子机械系统力电耦合残余应力阈值电压 Microelectromechanical system Coupled electromechanical

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力电耦合是大多数微电子机械系统(尤其是以静电驱动的微机械)的重要特征.文中采用有限元(FEM)结合边界元(BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题,利用自行研制的程序给出了几种典型构件(平行板、悬臂梁和固支梁)的分析结果,并同其他商业软件(ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较.同时,还将这种分析方法应用到微继电器的设计和MEMS构件残余应力的检测中.

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