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介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状．主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计，对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以推广到整个半导体生产线其他工艺设备的应用．对未来大尺寸半导体生产线的国产化具有很大意义。
应用于硅片传输系统的机械手设计
【摘 要】
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介绍了应用于硅片传输系统的机械手发展现状．主要针对12英寸全自动探针测试台的工艺需要进行机械手系统设计，对机械手结构以及设计中需要注意的关键技术进行了阐述。该设计可以
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年3期
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