高温热处理对PbPc为基的气体传感器特性的影响

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以金属酞花菁薄膜检测NO_2等强电子亲和势气体己为人们所注视,然而当NO_2浓度高于0.5×10~(-6)时,其响应时间和恢复时间都将加长,限制了它的应用范围。T.A.Jone和B.Bott曾为克服此缺点而努力,发现有两条途径可以解决之,一是将器件的工作温度从一般的200℃提高到200~300℃,二是采用300℃以上的高温热处理,然后降低到正常的工作温度,都获得了显著的成效。前者由于工作温度太高,使铅酞花菁薄膜的热蒸发过速, Metal phthalocyanine thin film detection of NO 2 and other strong electron affinity gas has been people’s attention, but when the NO 2 concentration higher than 0.5 × 10 -6, the response time and recovery time will be extended, limiting it The scope of application. TAJone and B.Bott have worked hard to overcome this shortcoming and found that there are two ways to solve it. First, the working temperature of the device is increased from 200 ℃ to 200 ~ 300 ℃, and the other is to use the high temperature above 300 ℃ Heat treatment, and then reduced to normal operating temperature, have achieved remarkable results. The former due to the working temperature is too high, so that the thermal evaporation of lead phthalocyanine thin film speed,
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