【摘 要】
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与边缘发射二极管激光器不同,垂直腔面发射激光器(VCSEL)发射的光束方向与制作它的半导体芯片方向垂直.该特点使其加工过程相对边缘发射激光器而言大为简化.因为在半导体芯片
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与边缘发射二极管激光器不同,垂直腔面发射激光器(VCSEL)发射的光束方向与制作它的半导体芯片方向垂直.该特点使其加工过程相对边缘发射激光器而言大为简化.因为在半导体芯片上形成的VCSEL发射腔是很圆满的,不需要对表面加工或把任何其它机械放入到腔内.此外,VCSEL的这个独特的光学特性也为光电子组装件提出了挑战和新的机遇.
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