【摘 要】
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直线电机带动空气静压导轨的进给驱动方式,结合了空气静压导轨极低摩擦、无爬行、极高运动精度等优点以及直线电机驱动的高刚度、宽调速范围、高动态性能的优点。这种进给驱
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直线电机带动空气静压导轨的进给驱动方式,结合了空气静压导轨极低摩擦、无爬行、极高运动精度等优点以及直线电机驱动的高刚度、宽调速范围、高动态性能的优点。这种进给驱动方式越来越广泛地应用于超精密加工及测量设备中。然而,实际情况中很多拖板的驱动并不在质心,工作中将会产生一个附加力矩。此时导轨的运动精度很大程度上取决于导轨的倾覆特性。笔者从流体力学的基本方程出发,利用小幅振动方法,在理论上推导出空气静压导轨的静态方程和一阶线性化的动态方程。进一步研究了动静态倾覆刚度和阻尼的理论表达式,并给出了合理的求解方法。根据
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