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介绍压阻式硅微加速度计的结构设计.采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计.该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作.通过测试,加速度计的非线性达到0.2%.讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素.
压阻式硅微加速度计的研制
【摘 要】
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介绍压阻式硅微加速度计的结构设计.采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计.该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作.通过测试,加速度计的非
【机 构】
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中国电子科技集团公司
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年12期
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