【摘 要】
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将电磁屏蔽层ITO薄膜作为一层光学薄膜,与TiO2、SiO2、MgF2一起,设计了宽带电磁屏蔽减反膜。给出了含有单层、双层、三层ITO的电磁屏蔽减反膜的膜系结构,其在可见光范围内剩
【机 构】
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中航工业太原航空仪表有限公司,中国电子科技集团第五十五研究所,
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将电磁屏蔽层ITO薄膜作为一层光学薄膜,与TiO2、SiO2、MgF2一起,设计了宽带电磁屏蔽减反膜。给出了含有单层、双层、三层ITO的电磁屏蔽减反膜的膜系结构,其在可见光范围内剩余反射率均小于0.5%,满足ISO9211标准。该薄膜既具备光学减反效果,同时又具备电磁屏蔽功能,可以用作电磁屏蔽视窗。
The electromagnetic shielding ITO film as a layer of optical thin film, together with TiO2, SiO2, MgF2, designed a broadband electromagnetic shielding antireflective film. The film structure of single-layer, double-layer and triple-layer ITO films with anti-reflection film is given. The residual reflectance in the visible range is less than 0.5%, which meets ISO9211 standard. The film not only has the optical anti-reflection effect, but also has the electromagnetic shielding function, can be used as electromagnetic shielding window.
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