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柔性铰链是目前被广泛用于微动机器人的主要部件之一，其刚柔度性能直接影响微动机器人的终端定位。以材料力学理论为基础，推导了平行板型柔性移动副刚度的解析公式，利用有限元方法对柔性移动副刚度进行验证，分析结果与解析公式的计算结果基本一致。对柔性移动副的刚度特性进行分析，并分析了结构参数对其刚度性能的影响，为柔性移动副设计优化提供了有价值的参考。