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用提拉技术,使用钨加热坩埚系统,成功地生长了优质刚玉单晶体。在炉中用一定比例的He+H_2混合气体,能有效地减少刚玉单晶体中的缺陷。此外,要精确控制有关的工艺参数。
从钨加热钼坩埚中熔体生长刚玉单晶体
【摘 要】
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用提拉技术,使用钨加热坩埚系统,成功地生长了优质刚玉单晶体。在炉中用一定比例的He+H_2混合气体,能有效地减少刚玉单晶体中的缺陷。此外,要精确控制有关的工艺参数。
【机 构】
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上海交通大学,上海交通大学
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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1991年2期
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