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在CdTe与金属背电极间形成稳定的低电阻接触,有助于提高CdTe太阳电池性能.采用硝酸-冰乙酸腐蚀CdTe薄膜并用真空蒸发法沉积铜背接触层,制备CdTe太阳电池.结果表明,化学腐蚀后在膜面生成了富碲层,硝酸-冰乙酸腐蚀为各向同性刻蚀.对背接触层进行优化退火处理,获得转化效率11.75%的CdTe太阳电池.